2018, 09 сентябрь (September) |
DOI: 10.14489/hb.2018.09.pp.016-020 Фомин М. В., Чернышев О. Р. Аннотация. Приводятся методика и результаты моделирования процесса течения газа в молекулярной ступени со спиральными каналами гибридного турбомолекулярного вакуумного насоса для оценки влияния геометрических параметров молекулярной ступени проточной части на откачные характеристики. Для расчета максимальной быстроты действия ступени и максимального отношения давлений использован метод Монте-Карло. Ключевые слова: молекулярный вакуумный насос; спиральные каналы; метод Монте-Карло.
Fomin M. V., Chernyshov O. R. Abstract. The method and results of modeling the process of gas flow in a molecular stage with spiral channels of a hybrid vacuum pump are presented to assess the impact of the geometric parameters of the molecular stage of the flow part on the pumping characteristics. Monte-Carlo method is used to calculate the maximum pumping speed of the stage and the maximum compression ratios. Keywords: Molecular vacuum pump; Spiral channels; Monte-Carlo method.
РусМ. В. Фомин (Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва, Россия) E-mail:
Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.
EngM. V. Fomin (Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russia) E-mail:
Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.
Рус1. Демихов К. Е., Никулин Н. К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2010. 255 с. Eng1. Demihov K. E., Nikulin N. K. (2010). Optimization of high vacuum mechanical pumps. Moscow: Izdatel'stvo MGTU im. N. E. Baumana. [in Russian language]
РусСтатью можно приобрести в электронном виде (PDF формат). Стоимость статьи 350 руб. (в том числе НДС 18%). После оформления заказа, в течение нескольких дней, на указанный вами e-mail придут счет и квитанция для оплаты в банке. После поступления денег на счет издательства, вам будет выслан электронный вариант статьи. Для заказа скопируйте doi статьи: 10.14489/hb.2018.09.pp.016-020 Отправляя форму вы даете согласие на обработку персональных данных. .
EngThis article is available in electronic format (PDF). The cost of a single article is 350 rubles. (including VAT 18%). After you place an order within a few days, you will receive following documents to your specified e-mail: account on payment and receipt to pay in the bank. After depositing your payment on our bank account we send you file of the article by e-mail. To order articles please copy the article doi: 10.14489/hb.2018.09.pp.016-020 and fill out the
.
|