DOI: 10.14489/hb.supp.2014.03.pp.001-024
Распопов В. Я. ИЗДЕЛИЯ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ (с. 1-24)
Аннотация. Рассмотрены терминология и история развития микросистемной техники (МСТ), технологические основы производства и изделия МСТ: преобразователи, датчики физических величин, микромашины, микросистемы и указаны области их применения.
Ключевые слова: кремний; микроструктура; преобразователь; акселерометр; гироскоп; датчик давления; магниторезистор; пирометр; микромашина; микросистема.
Raspopov V. Ya. PRODUCTS MICROSYSTEMS ENGINEERING (pp. 1-24)
Abstract. We consider the terminology and history of microsystem technology (MST), the technological basis of production and products MCT: transducers, sensors of physical quantities, micromachines, and microsystems are in application.
Keywords: Silicon microstructure; Converter; Accelerometer; Gyroscope; Pressure sensor; Magnetoresistor; Thermometer; Mikromashina; Microsystem.
В. Я. Распопов (ФГБОУ ВПО «Тульский государственный университет») E-mail:
Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.
V. Ya. Raspopov (Tula State University) E-mail:
Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.
1. Распопов В. Я. Акселерометры. Общая характеристика // Справочник. Инженерный журнал с приложением. Приложение. 2009. № 6. С. 2 – 9. 2. Распопов В. Я. Микромеханические приборы: учеб. пособ. М.: Машиностроение, 2007. 399 с. 3. B-290 «TRIAD». Three Axis Accelemeter. Рекламный лист фирмы LITEFGmbH (ФРГ), 1996. 4. Распопов В. Я., Иванов Ю. В., Малютин Д. М., Лихошерст В. В. Области применения, конструкции и технические характеристики акселерометров // Справочник. Инженерный журнал с приложением. Приложение. 2009. № 6. С. 10 – 18. 5. Алалуев Р. В., Иванов Ю. В., Распопов В. Я. Применение акселерометров в датчиках уровня путевых машин // Справочник. Инженерный журнал с приложением. Приложение. 2009. № 7. С. 6 – 9. 6. Алалуев Р. В., Лихошерст В. В., Распопов В. Я., Шведов А. П. Инклинометр на микромеханических акселерометрах для ориентации робота-проходчика // Справочник. Инженерный журнал с приложением. Приложение. 2009. № 7. С. 2 – 5. 7. Распопов В. Я. Гироскопические приборы. Технические характеристики и применение // Справочник. Инженерный журнал с приложением. Приложение. 2009. № 8. С. 10 – 20. 8. Пешехонов В. Г., Несенюк Л. Л., Грязин Д. Г. и др. Микромеханический гироскоп, разрабатываемый в «ЦНИИ «Электроприбор» // Мехатроника, автоматизация, управление. 2008. № 2(83). С. 29 – 31. 9. Лестев А. М., Попова И. В. Современное состояние теории и практических разработок микромеханических гироскопов // Гироскопия и навигация. 1998. № 3. С. 81 – 94. 10. Журавлев В. Ф., Климов Д. М. Волновой твердотельный гироскоп. М.: Наука, 1985. 125 с. 11. Матвеев В. А., Липатников В. И., Алехин А. В. Проектирование волнового твердотельного гироскопа. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1998. 125 с. 12. Тимошенко С. П., Войновский-Кригер С. Пластинки и оболочки. М.: Наука, 1966. 635 с. 13. Ваганов В. И. Интегральные тензопреобразователи. М.: Энергоатомиздат, 1983. 136 с. 14. Вавилов В. Д. Интегральные датчики. Н. Новгород: Нижегород. гос. тех. ун-т, 2003. 499 с. 15. Зимин В. Н., Данилова Н. А. и др. Базовые конструкции интегральных тензопреобразователей на ряд давлений от 0,01 до 40 МПа // Датчики и системы. 1999. № 2. С. 52 – 55. 16. Зимин В. Н., Чаплыгин Ю. А. и др. Интегральные преобразователи давления на нормальный ряд от 0,04 до 30 МПа // Измерительная техника. 1994. № 2. С. 22 – 25. 17. Зимин В. Н., Данилова Н. А. и др. Микроэлектронные чувствительные элементы давления и тензомодули // Датчики и системы. 1999. № 2. С. 55 – 59. 18. Товкач С. Е., Ладонкин А. В., Распопов В. Я. Автопилот пирометрического типа // Мир авионики. 2009. № 5. С. 29 – 32. 19. Распопов В. Я. Микросистемная авионика. Тула: «Гриф и К». 247 с. 20. [Электронный ресурс] – (www.mdl.sandia.gov/micromashine) 21. BellLabs [Электронный ресурс] – (http://bell-labs.com.) 22. LucentTechnogies [Электронный ресурс] – (http://lucent.com.) 23. Hewlett-Packard [Электронный ресурс] – (http://www.hp.com.) 24. Распопов В. Я., Малютин Д. М., Алалуев Р. В. и др. Системы ориентации малоразмерных беспилотных летательных аппаратов // Справочник. Инженерный журнал с приложением. Приложение. 2010. № 11. С. 51 – 56. 25. Распопов В. Я. Системы ориентации магнитометрического типа. Общая характеристика // Справочник. Инженерный журнал с приложением. Приложение. 2010. № 6. С. 2 – 5. 26. Распопов В. Я. Микроэлектромеханические системы: лекции // Датчики и системы. 2005. № 3. С. 17 – 21; № 4. С. 21 – 27; № 4. С. 37 – 42; № 5. С. 39 – 47; № 7. С. 22 – 34; № 11. С. 29 – 37; 2006. № 3. С. 24 – 29; № 5. С. 31 – 33; № 7. С. 40 – 44; № 8. С. 29 – 33; 2007. № 2. С. 22 – 27; № 3. С. 15 – 19; № 6. С. 22 – 25; № 11. С. 33 – 40; 2008. № 8. С. 25 – 33; № 9. С. 17 – 22. 2009. № 10. С. 30 – 35.
1. Raspopov V. Ia. (2009). Accelerometers and their application. Spravochnik. Inzhenernyi zhurnal, (6), pp. 2-9. 2. Raspopov V. Ia. (2007). Micromechanical devices: textbook. Moscow: Mashinostroenie. 3. B-290 «TRIAD». Three Axis Accelemeter. (1996). Advertising sheet of the LITEFGmbH company. 4. Raspopov V. Ia., Ivanov Iu. V., Maliutin D. M., Likhosherst V. V. (2009). Areas of application, design and specifications of accelerometers. Spravochnik. Inzhenernyi zhurnal (Supplement), (6), pp. 10-18. 5. Alaluev R. V., Ivanov Iu. V., Raspopov V. Ia. (2009). Application of accelerometers in level sensors of track machines. Spravochnik. Inzhenernyi zhurnal (Supplement), (7), pp. 6-9. 6. Alaluev R. V., Likhosherst V. V., Raspopov V. Ia., Shvedov A. P. (2009). Inclinometer on micromechanical accelerometers for the orientation of the shaftman-robot. Spravochnik. Inzhenernyi zhurnal (Supplement), (7), pp. 2-5. 7. Raspopov V. Ia. (2009). Gyroscopic devices. technical characteristics and application. Spravochnik. Inzhenernyi zhurnal (Supplement), (8), pp. 10-20. 8. Peshekhonov V. G., Neseniuk L. L., Griazin D. G. et al. (2008). Micromechanical gyroscope, developed in the central research institute «Electropribor». Mekhatronika, avtomatizatsiia, upravlenie, 83(2), pp. 29-31. 9. Lestev A. M., Popova I. V. (1998). Current state of the theory and practical developments of mechanical gyroscopes. Giroskopiia i navigatsiia, (3), pp. 81-94. 10. Zhuravlev V. F., Klimov D. M. (1985). Wave solid-state gyroscope. Moscow: Nauka. 11. Matveev V. A., Lipatnikov V. I., Alekhin A. V. (1998). Design of wave solid-state gyroscope. Moscow: Izdatel'stvo MGTU im. N.E. Baumana. 12. Timoshenko S. P., Voinovskii-Kriger S. (1966). Plates and shells. Moscow: Nauka. 13. Vaganov V. I. (1983). Integral tеnzo converters. Moscow: Energoatomizdat. 14. Vavilov V. D. (2003). Integral sensors. Nizhnii Novgorod: Nizhegorodskii gosudarstvennyi tekhnicheskii universitet. 15. Zimin V. N., Danilova N. A. et al. (1999). The basic design of integrated tenzo converters on a number of pressures from 0.01 to 40 MPa. Datchiki i sistemy, (2), pp. 52-55. 16. Zimin V. N., Chaplygin Iu. A. et al. (1994). Integral pressure transmitters on a normal range from 0,04 up to 30 MPa. Izmeritel'naia tekhnika, (2), pp. 22-25. 17. Zimin V. N., Danilova N. A. et al. (1999). Microelectronic sensitive elements of pressure and tenzo modules. Datchiki i sistemy, (2), pp. 55-59. 18. Tovkach S. E., Ladonkin A. V., Raspopov V. Ia. (2009). Pyrometric type autopilot. Mir avioniki, (5), pp. 29-32. 19. Raspopov V. Ia. Microsystem avionics. Tula: «Grif i K». 20. Available at: www.mdl.sandia.gov/micromashine 21. BellLabs. Available at: http://bell-labs.com 22. LucentTechnogies. Available at: http://lucent.com 23. Hewlett-Packard Available at: http://www.hp.com 24. Raspopov V. Ia., Maliutin D. M., Alaluev R. V. et. al (2010). Mini UAV attitude control system. Spravochnik. Inzhenernyi zhurnal (Supplement), (11), pp. 51-56 25. Raspopov V. Ia. (2010). Orientation systems of magnetometric type. General characteristics. Spravochnik. Inzhenernyi zhurnal (Supplement), (6), pp. 2-5. 26. Raspopov V. Ia. (2005). Microelectromechanical systems: lectures. Datchiki i sistemy, (3), pp. 17-21; (4), pp. 21 – 27; (4), pp. 37 – 42; (5), pp. 39 – 47; (7), pp. 22 – 34; (11), pp. 29 – 37; (2006). (3), pp. 24 – 29; (5), pp. 31 – 33; (7), pp. 40 – 44; (8), pp. 29 – 33; (2007). (2), pp. 22 – 27; (3), pp. 15 – 19; (6), pp. 22 – 25; (11), pp. 33 – 40; (2008). (8), pp. 25 – 33; (9), pp. 17 – 22. (2009). (10), pp. 30 – 35.
Статью можно приобрести в электронном виде (PDF формат).
Стоимость статьи 250 руб. (в том числе НДС 18%). После оформления заказа, в течение нескольких дней, на указанный вами e-mail придут счет и квитанция для оплаты в банке.
После поступления денег на счет издательства, вам будет выслан электронный вариант статьи.
Для заказа статьи заполните форму:
.
This article is available in electronic format (PDF).
The cost of a single article is 250 rubles. (including VAT 18%). After you place an order within a few days, you will receive following documents to your specified e-mail: account on payment and receipt to pay in the bank.
After depositing your payment on our bank account we send you file of the article by e-mail.
To order articles please fill out the form below:
.
.
|