Рус

В. Я. Распопов (ФГБОУ ВПО «Тульский государственный университет») E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

Eng

V. Ya. Raspopov (Tula State University) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

Рус

1. Berkeley Sensor and Actuator Center [Электронный ресурс]. URL: http://bsac.eecs.berkeley.edu.
2. Sandi National Laboratories, SUMMiT Technologics, [Электронный ресурс]. URL: http://www. mems.sandia.gov.
3. Распопов В. Я. Микромеханические приборы: учебное пособие. М.: Машиностроение, 2007. 399 с.
4. Распопов В. Я. Микросистемы угловой ориентации беспилотных летательных аппаратов // Датчики и системы. 2011. № 8(147). С. 3 – 12.
5. Петерсен К. Э. Кремний как конструкционный материал // ТИИЭР. 1982. Т. 70. № 5. С. 5 – 49.
6. Най Дж. Физические свойства кристаллов М.: Мир, 1967. 388 с.
7. Мэзон У. Полупроводниковые преобразователи // Физическая акустика. М.: Мир. 1967. Т. 1. С. 139 – 186.
8. Пичугин И. Г., Таиров Ю. М. Технология полупроводниковых приборов. М.: Высшая школа, 1984. 288 с.
9. Обухов В. И. Технология интегральных измерительных преобразователей. Н. Новгород: РИО НГТУ,1996. 150 с.
10. Броудай И., Мерай Д. Физические основы микротехнологии. М.: Мир, 1985. 494 с.
11. Получение субмикронной изоляции на кремнии / Г. А. Канищев и др. // Электронная техника. Серия 2. Микроэлектроника. 1980. Вып. 3. С. 82 – 85.
12. Вавилов В. Д. Интегральные датчики. Н. Новгород: НГТУ, 2003. 503 с.
13. Малов В. В. Пъезорезонансные датчики. М.: Энергоатомиздат, 1989. 270 с.
14. Частотно-временные преобразователи в схемах измерения физических величин / В. С. Гутников и др. // Приборы и системы управления. 1989. № 9. С. 15 – 17.
15. Датчики измерительных систем / Ж. Аш и др. М.: Мир. Кн.1. 480 с. Кн. 2. 420 с.
16. Judy M.W., Howe R.T. Polysilicon Hollow Beam Lateral Resonators // Procedings of the IEEE Microelectromehanical Systems Conference: Fort Lauderdale, FL. Feb. 7 – 10. 1999. Р. 265 – 271.
17. Акселерометры серии АТ. Состояние и перспективы разработок / С. Ф. Былинкин, В. Т. Лещев, В. В. Лосев и др. // Гироскопия и навигация. 2004. № 1(44). С. 97 – 107.
18. Fountain R. Характеристика и краткий обзор вибрирующей структуры кремниевого гироскопа // Доклад, прочитанный 27 мая 2004 г.: СПб.: ГНЦ РФ «ЦНИИ «Электро-прибор».
19. Bryzek Y, Peterson K., Culley Mc W. Micromachines on the March // IEEE Spectrum, 1994. P. 20 – 31.
20. Riethmuller W., Benecke W. Thermally Excited Silicon Microactuators // IEEE Transactions on Electron Devices. 1998. V. 35. P. 758 – 763.
21. Lucas Novasensor [Электронный ресурс]. URL: http://novasenor.com.
22. Motorola Sensor Products Division [Электронный ресурс]. URL: http://motorola.com.
23. Perkin-Elmer Applied Biosystems [Электронный ресурс]. URL: http://www.perkin-elmer.com.
24. Мокров Е. А. Интегральные датчики. Состояние разработок и производства. Направления развития и объемы рынка // Датчики и системы. 2000. № 1. С. 28 – 30.
25. Смирнов В. С., Тепляков О. И. Основные направления развития артиллерийских высокоточных боеприпасов автономного применения // Оборонная техника. 2006. № 1–2. С. 20 – 29.

Eng

1. Berkeley Sensor and Actuator Center. Available at: http://bsac.eecs.berkeley.edu.
2. Sandi National Laboratories, SUMMiT Technologics. Available at: http://www. mems.sandia.gov.
3. Raspopov V. Ia. (2007). Micromechanical devices: textbook. Moscow: Mashinostroenie.
4. Raspopov V. Ia. (2011). Microsystem of the angular orientation of the air drones. Datchiki i sistemy, 147(8), pp. 3 – 12.
5. Petersen K. E. (1982). Silicon as a structural material. TIIER, 70(5), pp. 5 – 49.
6. Nai Dzh. (1967). Physical properties of crystals. Moscow: Mir.
7. Mezon U. (1967). Semiconductor converters. Physical acoustics. (Vol. 1). Moscow: Mir.
8. Pichugin I. G., Tairov Iu. M. (1984). Technology of semiconductor devices. Moscow: Vysshaia shkola.
9. Obukhov V. I. (1996). Technology of integrated transducers. Nizhnii Novgorod: RIO NGTU.
10. Broudai I., Merai D. (1985). Physical basis of microtechnology. Moscow: Mir.
11. Kanishchev G. A. et al. (1980). Obtaining of submicron insulation on silicon. Elektronnaia tekhnika. Seriia 2. Mikroelektronika, 3, pp. 82 – 85.
12. Vavilov V. D. (2003). Integrated sensors. Nizhnii Novgorod: NGTU.
13. Malov V. V. (1989). Piezoresonance sensors. Moscow: Energoatomizdat.
14. Gutnikov V. S. et al. (1989). Time and frequency transducers in the schemes of measurement of physical quantities. Pribory i sistemy upravleniia, (9), pp. 15 – 17.
15. Ash Zh. Sensors measuring systems. In 2 books. Moscow: Mir.
16. Judy M.W., Howe R.T. (1999). Polysilicon Hollow Beam Lateral Resonators. Procedings of the IEEE Microelectromehanical Systems Conference, Fort Lauderdale, FL. Feb. 7 – 10. 1999, pp. 265 – 271.
17. Bylinkin S. F., Leshchev V. T., Losev V. V. et al. (2004). Accelerometers of AT series. Current state and prospects of development. Giroskopiia i navigatsiia, 44(1), pp. 97 – 107.
18. Fountain R. (2004). Description and a brief overview of the vibrating structure of silicon gyro. Report delivered on 27 May 2004. SPb.: GNTs RF «TsNII «Elektro-pribor».
19. Bryzek Y, Peterson K., Culley Mc W. (1994). Micromachines on the March. IEEE Spectrum, pp. 20 – 31.
20. Riethmuller W., Benecke W. (1998). Thermally excited silicon microactuators. IEEE Transactions on Electron Devices, 35, pp. 758 – 763.
21. Lucas Novasensor. Available at: http://novasenor.com.
22. Motorola Sensor Products Division. Available at: http://motorola.com.
23. Perkin-Elmer Applied Biosystems. Available at: http://www.perkin-elmer.com.
24. Mokrov E. A. (2000). Integrated sensors. State of development and production. Development directions and volumes of the market. Datchiki i sistemy, (1), pp. 28 – 30.
25. Smirnov V. S., Tepliakov O. I. (2006). Main directions of development of high-precision artillery ammunition of standalone applications. Oboronnaia tekhnika, (1-2), pp. 20 – 29

Рус

Статью можно приобрести в электронном виде (PDF формат).

Стоимость статьи 250 руб. (в том числе НДС 18%). После оформления заказа, в течение нескольких дней, на указанный вами e-mail придут счет и квитанция для оплаты в банке.

После поступления денег на счет издательства, вам будет выслан электронный вариант статьи.

Для заказа статьи заполните форму:

Форма заказа статьи Фамилия, имя, отчество * Ваш E-mail * Почтовый адрес с индексом * Контактный телефон * Дополнительно для юридических лиц: ИНН КПП Юридический адрес с индексом Комментарий к заявке Type the characters you see in the picture below

.

Eng

This article  is available in electronic format (PDF).

The cost of a single article is 250 rubles. (including VAT 18%). After you place an order within a few days, you will receive following documents to your specified e-mail: account on payment and receipt to pay in the bank.

After depositing your payment on our bank account we send you file of the article by e-mail.

To order articles please fill out the form below:

Purchase digital version of a single article Your name * Your e-mail * Your post address with index * Your phone number: * Comments to your order Type the characters you see in the picture below

.