10.14489/hb.2023.06.pp.003-007

2023, 06 июнь (June)

DOI: 10.14489/hb.2023.06.pp.003-007

Фомин М. В., Фомина И. М.
К РАСЧЕТУ МНОГОСТУПЕНЧАТОГО ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА
(c. 3-7)

Аннотация. Рассмотрены зависимости основных характеристик турбомолекулярного насоса, работающего в режиме молекулярного течения газа, от числа ступеней и их геометрических параметров. Программы, разработанные с использованием метода Монте-Карло в трехмерной постановке с учетом влияния радиальных и осевых зазоров, позволяют проследить полную траекторию каждой молекулы через всю проточную часть насоса, а также рассчитать потоки газовыделения. Моделирование показало неравномерность концентрации молекул в поперечном сечении проточной части. Установлено влияние геометрических параметров ступеней и места их расположения в проточной части на основные характеристики насоса.

Ключевые слова: турбомолекулярный вакуумный насос; максимальная быстрота действия; максимальное отношение давлений; метод Монте-Карло.

Fomin M. V., Fomina I. M.
THE CALCULATION OF A MULTISTAGE TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP
(pp. 3-7)

Abstract. The dependencies of the main characteristics of a turbomolecular pump operating in the molecular regime of gas flow on the number of stages and their geometrical parameters are considered. Programs developed using the Monte Carlo method in a three-dimensional formulation, taking into account the influence of radial and axial clearances, make it possible to trace the full trajectory of each molecule through the entire flow path of the pump, as well as calculate the gas evolution flows. Determining the probabilities of molecules passing in the forward and reverse directions made it possible to establish the influence of the geometric parameters of the stages and their location in the flow path on the main characteristics of the pump.

Keywords: Turbomolecular vacuum pump; Maximum speed of action; Maximum pressure ratio; Monte Carlo method.

+ - Информация об авторах (About the Authors) Click to collapse

Рус

М. В. Фомин, И. М. Фомина (Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана, Москва, Россия) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

Eng

M. V. Fomin, I. M. Fomina (Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russia) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

+ - Библиографический список (References) Click to collapse

Рус

1. Вакуумная техника. Справочник / К. Е. Демихов, Ю. В. Панфилов, Н. К. Никулин и др.; под общ. ред. К. Е. Демихова, Ю. В. Панфилова. 3-е изд., перераб. и доп. М.: Машиностроение, 2009. 590 с.
2. Фомин М. В., Фомина И. М. Расчет основных характеристик турбомолекулярного вакуумного насоса с лопатками переменной толщины // Справочник. Инженерный журнал с приложением. 2022. № 4. С. 24 – 31.
3. Методы расчета сложных вакуумных систем / С. Б. Нестеров, А. В. Бурмистров, А. В. Андросов и др.; под общ. ред. С. Б. Нестерова, А. В. Бурмистрова. М.: Техносфера, 2012. 384 с.
4. Фомина И. М. Влияние формы поперечного сечения лопаток на откачные характеристики турбо-молекулярного вакуумного насоса // Вестник машиностроения. 2022. № 2. С. 23 – 27.
5. Фомин М. В., Фомина И. М. Моделирование потоков газовыделения с поверхностей проточной части турбомолекулярных вакуумных насосов // Справочник. Инженерный журнал с приложением. 2020. № 10. С. 45 – 48.

Eng

1. Demihov K. E., Panfilov Yu. V. (Eds.), Nikulin N. K. et al. (2009). Vacuum technology. Handbook. 3rd ed. Moscow: Mashinostroenie. [in Russian language]
2. Fomin M. V., Fomina I. M. (2022). The calculation of the main characteristics of a turbomolecular vacuum pump with blades of variable thickness. Spravochnik. Inzhenerniy zhurnal s prilozheniem, (4), pp. 24 – 31. [in Russian language] DOI: 10.14489/hb.2022.04.pp.024-030
3. Nesterov S. B., Burmistrov A. V. (Eds.), Androsov A. V. et al. (2012). Methods for calculating complex vacuum systems. Moscow: Tekhnosfera. [in Russian language]
4. Fomina I. M. (2022). Influence of the shape of the cross section of the blades on the pumping characteristics of a turbomolecular vacuum pump. Vestnik mashinostroeniya, (2), pp. 23 – 27. [in Russian language]
5. Fomin M. V., Fomina I. M. (2020). Simulation of gas release flows from the flow surfaces of turbomolecular vacuum pumps. Spravochnik. Inzhenerniy zhurnal s prilozheniem, (10), pp. 45 – 48. [in Russian language] DOI: 10.14489/hb.2020.10.pp.045-048

+ - Заказать электронную версию статьи (Purchase digital version of a single article) Click to collapse

Рус

Статью можно приобрести в электронном виде (PDF формат).

Стоимость статьи 500 руб. (в том числе НДС 18%). После оформления заказа, в течение нескольких дней, на указанный вами e-mail придут счет и квитанция для оплаты в банке.

После поступления денег на счет издательства, вам будет выслан электронный вариант статьи.

Для заказа скопируйте doi статьи:

10.14489/hb.2023.06.pp.003-007

и заполните форму

Отправляя форму вы даете согласие на обработку персональных данных.

Eng

This article is available in electronic format (PDF).

The cost of a single article is 500 rubles. (including VAT 18%). After you place an order within a few days, you will receive following documents to your specified e-mail: account on payment and receipt to pay in the bank.

After depositing your payment on our bank account we send you file of the article by e-mail.

To order articles please copy the article doi:

10.14489/hb.2023.06.pp.003-007

and fill out the form