10.14489/hb.2023.04.pp.017-021

2023, 04 апрель (April)

DOI: 10.14489/hb.2023.04.pp.017-021

Фомин М. В., Фомина И. М.
ОПТИМИЗАЦИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ МОЛЕКУЛЯРНОЙ СТУПЕНИ ВАКУУМНОГО НАСОСА С ВИНТОВЫМИ КАНАЛАМИ НА РОТОРЕ
(с. 17-21)

Аннотация. Рассмотрена методика оптимизации геометрических параметров молекулярной ступени турбомолекулярного вакуумного насоса с винтовыми каналами, выполненными на роторе. В осевом сечении ротора каналы имеют прямоугольную форму. В результате численных экспериментов методом Монте-Карло при молекулярном режиме течения газа установлено влияние каждого геометрического параметра ротора на основные откачные характеристики молекулярной ступени. Разработанная программа позволяет оптимизировать геометрические параметры винтовых каналов молекулярной ступени при заданных габаритных размерах ротора в целях получения максимальной быстроты действия и отношения давлений.

Ключевые слова: турбомолекулярный вакуумный насос; молекулярная ступень; проточная часть; максимальная быстрота действия; максимальное отношение давлений; метод Монте-Карло.

Fomin M. V., Fomina I. M.
OPTIMIZATION OF THE GEOMETRIC PARAMETERS OF THE MOLECULAR STAGE OF A VACUUM PUMP WITH SCREW CHANNELS ON THE ROTOR
(pp. 17-21)

Abstract. A technique for optimizing the geometric parameters of the molecular stage of a turbo molecular vacuum pump with helical channels made on the rotor is considered. In the axial section of the rotor, the channels have a rectangular shape. As a result of numerical experiments by the Monte Carlo method in the molecular gas flow regime, the influence of each geometrical parameter of the rotor on the main pumping characteristics of the molecular stage was established. The developed program makes it possible to optimize the geometric parameters of the helical channels of the molecular stage for given overall dimensions of the rotor in order to obtain the maximum speed of action and pressure ratio.

Keywords: Turbo molecular vacuum pump; Molecular stage; Flow part; Maximum speed of action; Maximum pressure ratio; Monte Carlo method.

+ - Информация об авторах (About the Authors) Click to collapse

Рус

М. В. Фомин, И. М. Фомина (Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, Москва, Россия) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

Eng

M. V. Fomin, I. M. Fomina (Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russia) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

+ - Библиографический список (References) Click to collapse

Рус

1. Демихов К. Е., Никулин Н. К., Свичкарь Е. В. Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов // Инженерный журнал: наука и инновации. 2013. Вып. 5. URL: http:// engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/754.html (дата обращения: 18.03.2016).
2. Влияние межступенчатого канала на эффективность молекулярной ступени комбинированного турбомолекулярного насоса / Ю. А. Шостак, Н. К. Никулин, Г. Т. Цакадзеи др. // Омский научный вестник. Сер. Авиационно-ракетное и энергетическое машиностроение. 2021. Т. 5, № 3. С. 45 – 53.
3. Фомин М. В., Фомина И. М. Оптимизация геометрических параметров винтовых каналов молекулярной ступени вакуумного насоса // Справочник. Инженерный журнал с приложением. № 2, 2023. С. 3 – 7.
4. Розанов Л. Н. Вакуумная техника. 3-е изд., перераб. и доп. М.: Высшая шк., 2007. 391 с.
5. Методы расчета сложных вакуумных систем / С. Б. Нестеров, А. В. Бурмистров, А. В. Андросов и др.; под общ. ред. С. Б. Нестерова, А. В. Бурмистрова. М.: Техносфера, 2012. 384 с.
6. Фомин М. В. Определение параметров откачных характеристик молекулярного вакуумного насоса с винтовыми каналами прямоугольного профиля // Справочник. Инженерный журнал с приложением. 2013. № 6. С. 33 – 36.

Eng

1. Demihov K. E., Nikulin N. K., Svichkar' E. V. (2013). Prospects for the development of combined turbomolecular vacuum pumps. Inzhenerniy zhurnal: nauka i innovatsii, (5). Available at: http://engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/754.html (Accessed: 18.03.2016). [in Russian language]
2. Shostak Yu. A., Nikulin N. K., Tsakadzei G. T. et al. (2021). Influence of the interstage channel on the efficiency of the molecular stage of a combined turbomolecular pump. Omskiy nauchniy vestnik. Seriya: Aviatsionno-raketnoe i energeticheskoe mashinostroenie, Vol. 5 (3), pp. 45 – 53. [in Russian language]
3. Fomin M. V., Fomina I. M. (2023). Optimization of geometric parameters of helical channels of a molecular stage vacuum pump. Spravochnik. Inzhenerniy zhurnal s prilozheniem. (2), pp. 3 – 7. [in Russian language]
4. Rozanov L. N. (2007). Vacuum Engineering. 3rd ed. Moscow: Vysshaya shkola. [in Russian language]
5. Nesterov S. B., Burmistrov A. V. (Eds.), Androsov A. V. et al. (2012). Calculation methods for complex vacuum systems. Moscow: Tekhnosfera. [in Russian language]
6. Fomin M. V. (2013). Determination of the pumping characteristics of a molecular vacuum pump with helical channels of rectangular profile. Spravochnik. Inzhenerniy zhurnal s prilozheniem, (6), pp. 33 – 36. [in Russian language]

+ - Заказать электронную версию статьи (Purchase digital version of a single article) Click to collapse

Рус

Статью можно приобрести в электронном виде (PDF формат).

Стоимость статьи 500 руб. (в том числе НДС 18%). После оформления заказа, в течение нескольких дней, на указанный вами e-mail придут счет и квитанция для оплаты в банке.

После поступления денег на счет издательства, вам будет выслан электронный вариант статьи.

Для заказа скопируйте doi статьи:

10.14489/hb.2023.04.pp.017-021

и заполните форму

Отправляя форму вы даете согласие на обработку персональных данных.

Eng

This article is available in electronic format (PDF).

The cost of a single article is 500 rubles. (including VAT 18%). After you place an order within a few days, you will receive following documents to your specified e-mail: account on payment and receipt to pay in the bank.

After depositing your payment on our bank account we send you file of the article by e-mail.

To order articles please copy the article doi:

10.14489/hb.2023.04.pp.017-021

and fill out the form