10.14489/hb.2022.09.pp.010-014

2022, 09 сентябрь (September)

DOI: 10.14489/hb.2022.09.pp.010-014

Фомин М. В., Фомина И. М.
РАСЧЕТ ПОТОКОВ ГАЗОВЫДЕЛЕНИЯ С ПОВЕРХНОСТЕЙ ПРОТОЧНОЙ ЧАСТИ МОЛЕКУЛЯРНОЙ СТУПЕНИ ВАКУУМНОГО НАСОСА
(c. 10-14)

Аннотация. Рассмотрен алгоритм и пример расчета потоков газовыделения с поверхностей молекулярной ступени с винтовыми каналами, выполненными на статоре гибридного турбомолекулярного вакуумного насоса. В расчетах молекулярного режима течения газа использован метод Монте-Карло в трехмерной постановке.

Ключевые слова: молекулярная ступень; турбомолекулярный вакуумный насос; потоки газовыделения; проточная часть; метод Монте-Карло.

Fomin M. V., Fomina I. M.
CALCULATION OF GAS EMISSION FLOWS FROM THE SURFACES OF THE FLOW PART MOLECULAR STAGE OF A VACUUM PUMP
(pp. 10-14)

Abstract. An algorithm and an example of calculation of gas emission flows from the urfaces of a molecular stage with helical channels made on the stator of a hybrid turbo molecular vacuum pump are considered. The Monte Carlo method in a three-dimensional formulation was used in calculations of the molecular regime of gas flow.

Keywords: Molecular stage; Turbo molecular vacuum pump; Gas emission flows; Flowing part; Monte Carlo method.

+ - Информация об авторах (About the Authors) Click to collapse

Рус

М. В. Фомин (АО «Вакууммаш», Казань, Россия)
И. М. Фомина (Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана, Москва, Россия) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

Eng

M. V. Fomin (“VACUUMASH”, Kazan, Russia)
I. M. Fomina (Bauman Moscow State Technical University named after N. E. Bauman, Moscow, Russia) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

+ - Библиографический список (References) Click to collapse

Рус

1. Свичкарь Е. В., Никулин Н. К., Демихов К. Е. Методика расчета откачной характеристики высоковакуумной системы с турбомолекулярным вакуумным насосом // Омский научный вестник. Серия авиационно-ракетное машиностроение. 2018. Т. 2, № 1. С. 65 – 68.
2. Вакуумная техника: справочник / К. Е. Демихов, Ю. В. Панфилов, Н. К. Никулин и др.; под общ. ред. К. Е. Демихова, Ю. В. Панфилова. 3-е изд., перераб. и доп. М.: Машиностроение, 2009. 590 с.
3. Фомин М. В. Математическая модель для определения параметров откачных характеристик молекулярного вакуумного насоса // Справочник. Инженерный журнал с приложением. 2015. № 7. С. 16 – 21.

Eng

1. Svichkar' E. V., Nikulin N. K., Demihov K. E. (2018). Method for calculating the pumping characteristics of a high-vacuum system with a turbomolecular vacuum pump. Omskiy nauchniy vestnik. Seriya aviatsionno-raketnoe mashinostroenie, Vol. 2, (1), pp. 65 – 68. [in Russian language]
2. Demihov K. E., Panfilov Yu. V. (Eds.), Nikulin N. K. et al. (2009). Vacuum technology: a handbook. 3rd ed. Moscow: Mashinostroenie. [in Russian language]
3. Fomin M. V. (2015). Mathematical model for determination of the pumping performance of molecular vacuum pump. Spravochnik. Inzhenerniy zhurnal s prilozheniem, (7), pp. 16 – 21. [in Russian language] DOI: 10.14489/hb.2015.07.pp.016-021

+ - Заказать электронную версию статьи (Purchase digital version of a single article) Click to collapse

Рус

Статью можно приобрести в электронном виде (PDF формат).

Стоимость статьи 500 руб. (в том числе НДС 18%). После оформления заказа, в течение нескольких дней, на указанный вами e-mail придут счет и квитанция для оплаты в банке.

После поступления денег на счет издательства, вам будет выслан электронный вариант статьи.

Для заказа скопируйте doi статьи:

10.14489/hb.2022.09.pp.010-014

и заполните форму

Отправляя форму вы даете согласие на обработку персональных данных.

Eng

This article is available in electronic format (PDF).

The cost of a single article is 500 rubles. (including VAT 18%). After you place an order within a few days, you will receive following documents to your specified e-mail: account on payment and receipt to pay in the bank.

After depositing your payment on our bank account we send you file of the article by e-mail.

To order articles please copy the article doi:

10.14489/hb.2022.09.pp.010-014

and fill out the form