|
DOI: 10.14489/hb.2026.02.pp.012-019
Сивов П. Г., Фещенко В. С.
ВЛИЯНИЕ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ CVD-АЛМАЗА НА ЕГО СВОЙСТВА
(c.12-19)
Аннотация. Рассмотрено влияние воздействий механической, химической (химико-механической) и термической (термохимической) обработки на поверхность CVD-алмаза с описанием главных преимуществ и недостатков каждого метода. Выделены основные аспекты применяемых методов для крупно- и мелкосерийного производства. Определены шероховатость поверхности, перспективные методы обработки поверхности CVD-алмаза, методы контроля и целесообразность применения выделенных методов на различных стадиях производства. Определены перспективные методы обработки в сфере производства и исследований, выделены основные преимущества и недостатки выбранных методов, рассмотрены образцы, подверженные различным видам обработки.
Ключевые слова: CVD-алмаз; обработка алмаза; линейно-угловые размеры; травление алмаза; эпитаксиальный рост; полировка поверхности.
Sivov P. G., Feshchenko V. S.
THE INFLUENCE OF CVD-DIAMOND SURFACE TREATMENT ON ITS PROPERTIES
(pp.12-19)
Abstract. The article discusses the influence of mechanical, chemical (chemical-mechanical), and thermal (thermo-chemical) treatment on the surface of CVD-diamond, describing the main advantages and disadvantages of each method. The main aspects of the methods used for large-scale and small-scale production are highlighted.The purpose of this article is to determine surface roughness, identify promising methods for processing CVD-diamond surfaces, methods of control, and the feasibility of applying the selected methods at various stages of production. To achieve this goal, the following tasks were formulated: - to identify promising processing methods in the field of production and research;- to identify the main advantages and disadvantages of the selected methods;- to consider samples subjected to various types of processing.
Keywords: CVD-diamond; Diamond processing; Linear-angular dimensions; Diamond etching; Epitaxial growth; Surface polishing.
П. Г. Сивов, В. С. Фещенко (МИРЭА – Российский технологический университет, Москва, Россия) E-mail:
Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.
P. G. Sivov, V. S. Feshchenko (MIREA – Russian Technological University, Moscow, Russia) E-mail:
Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.
1. Шмидт А. Г., Алтухов А. А., Фещенко В. С., Шепелев В. А. Алгоритм определения угла между направлениями шлифовки поверхности // Моделирование, оптимизация и информационные технологии. 2023. № 11(3). С. 241 – 246.
2. Духновский М. П., Куликов Е. Н., Пухов Д. В., Тарасов И. В. Применение CVD-алмаза и технологий его обработки в конструкции СВЧ-диодов // Электроника и микроэлектроника СВЧ. 2021. С. 329 – 331.
3. Алтухов А. А., Митенкин А. В., Теплова Т. Б., Доронин М. А. Обработка алмазных заготовок термохимическим способом с получением поверхности нанометровой шероховатости // Горный информационно-анали¬тический бюллетень (Научно-технический журнал). 2013. С. 186 – 191.
4. CVD-алмазные структуры с p-n-переходом – диоды и транзисторы / М. А. Лобаев, Д. Б. Радищев, А. Л. Ви¬харев и др. // Журнал технической физики. 2025. С. 540 – 548.
5. Патент № RU2488912C2. Способ изготовления диода Шоттки / Бормашов В. С., Волков А. П., Буга С. Г., Корнилов Н. В., Тарелкин С. А., Терентьев С. А. Заявл. 07.07.2021. Опубл. 20.01.2013. 12 с.
6. Синтез сильно легированного CVD алмаза и осаждение на нем алмазных и диэлектрических пленок для создания полупроводниковых приборов на алмазе [Электронный ресурс] // Карточка проекта фундаментальных и поисковых научных исследований, поддержанного Российским научным фондом: [сайт]. URL: https://rscf.ru/project/22-12-00309/ (дата обращения: 15.07.2025).
7. Hicks M.-L., Pakpour-Tabrizi Alexander C., Jackman Richard B. Polishing, Preparation and Patterning of Diamond for Device Applications // Diamond & Related Materials. 2019. 13 р.
8. Полировальные ткани и сукна. Аксессуары / [Электронный ресурс] // Реал-Дзержинск: [сайт]. URL: https://real-dz.com/katalog/rasxodnyie-materialyi-dlyametallografii/polirovalnyie-tkani-i-sukna-aksessuaryi/ (дата обращения: 15.07.2025).
9. Сивов П. Г., Русаков Г. И. Методы и средства контроля линейно-угловых размеров монокристаллических пластин // Научная инициатива. Проблемы и инициативы реализации инновационных решений. 2025. С. 1 – 7.
10. Thomas Evan L. H., Nelson Geoffrey W., Mandal Soumen, et al. Chemical Mechanical Polishing of Thin Film Diamond // Carbon. 2013. P. 473 – 479.
11. CMP-Tribo-Print-v1119 / [Электронный ресурс] // Logitech. Materials Technologists & Engineers: [сайт]. URL: https://logitech.uk.com/wp-content/uploads/CMP-Tribo-Print-v1119/ (дата обращения: 15.07.2025).
12. ГОСТ 2789–73. Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики. М.: Стандартинформ. 2006. 6 с.
13. Технологические инновации в процессе CMP: обзор последних достижений и их влияния на качество продукции [Электронный ресурс] // Апни: [сайт]. URL: https://apni.ru/article/2665-tehnologicheskie-innovaczii-v-proczesse-cmp-obzor-poslednih-dostizhenij-i-ih-vliyaniya-na-kachestvo-produkczii?ysclid=me9lwrm8xe660025004/ (дата обращения: 15.07.2025).
1. Shmidt, A. G., Altukhov, A. A., Feshchenko, V. S., & Shepelev, V. A. (2023). Algorithm for determining the angle between surface grinding directions. Modelirovanie, Optimizatsiya i Informatsionnye Tekhnologii, 11(3), 241–246. [in Russian language].
2. Dukhnovskii, M. P., Kulikov, E. N., Pukhov, D. V., & Tarasov, I. V. (2021). Application of CVD diamond and its processing technologies in the design of microwave diodes. Elektronika i Mikroelektronika SVCh, 329–331. [in Russian language].
3. Altukhov, A. A., Mitenkin, A. V., Teplova, T. B., & Doronin, M. A. (2013). Processing of diamond blanks by thermochemical method to obtain a surface with nanometer roughness. Gornyi Informatsionno-Analiticheskii Byulleten' (Nauchno-Tekhnicheskii Zhurnal), 186–191. [in Russian language].
4. Lobaev, M. A., Radishchev, D. B., Vikharev, A. L., et al. (2025). CVD diamond structures with p-n junction – diodes and transistors. Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki, 540–548. [in Russian language].
5. Bormashov, V. S., Volkov, A. P., Buga, S. G., Kornilov, N. V., Tarelkin, S. A., & Terent'ev, S. A. (2013, January 20). Method for manufacturing a Schottky diode (Russian Federation Patent No. RU2488912C2). [in Russian language].
6. Russian Science Foundation. (n.d.). Synthesis of heavily doped CVD diamond and deposition of diamond and dielectric films on it for creating diamond-based semiconductor devices. [in Russian language]. Retrieved July 15, 2025, from https://rscf.ru/project/22-12-00309/
7. Hicks, M.-L., Pakpour-Tabrizi, A. C., & Jackman, R. B. (2019). Polishing, preparation and patterning of diamond for device applications. Diamond and Related Materials, 13.
8. Real-Dz. (n.d.). Poliroval'nye tkani i sukna. Aksessuary [Polishing cloths and felts. Accessories] [in Russian language]. Retrieved July 15, 2025, from https://real-dz.com/katalog/rasxodnyie-materialyi-dlya-metallografii/polirovalnyie-tkani-i-sukna-aksessuaryi/
9. Sivov, P. G., & Rusakov, G. I. (2025). Methods and means for controlling linear-angular dimensions of monocrystalline plates. Nauchnaya Initsiativa. Problemy i Initsiativy Realizatsii Innovatsionnykh Reshenii, 1–7. [in Russian language].
10. Thomas, E. L. H., Nelson, G. W., Mandal, S., et al. (2013). Chemical mechanical polishing of thin film diamond. Carbon, 473–479.
11. Logitech. (n.d.). CMP-Tribo-Print-v1119 [in Russian language]. Retrieved July 15, 2025, from https://logitech.uk.com/wp-content/uploads/CMP-Tribo-Print-v1119/
12. Federal Agency on Technical Regulating and Metrology. (2006). GOST 2789–73. Surface roughness. Parameters and characteristics. Standartinform. [in Russian language].
13. Apni. (n.d.). Technological innovations in the CMP process: a review of recent achievements and their impact on product quality. [in Russian language]. Retrieved July 15, 2025, from https://apni.ru/article/2665-tehnologicheskie-innovaczii-v-proczesse-cmp-obzor-poslednih-dostizhenij-i-ih-vliyaniya-na-kachestvo-produkczii?ysclid=me9lwrm8xe660025004/
Статью можно приобрести в электронном виде (PDF формат).
Стоимость статьи 700 руб. (в том числе НДС 20%). После оформления заказа, в течение нескольких дней, на указанный вами e-mail придут счет и квитанция для оплаты в банке.
После поступления денег на счет издательства, вам будет выслан электронный вариант статьи.
Для заказа скопируйте doi статьи:
10.14489/hb.2026.02.pp.012-019
и заполните форму
Отправляя форму вы даете согласие на обработку персональных данных.
.
This article is available in electronic format (PDF).
The cost of a single article is 700 rubles. (including VAT 20%). After you place an order within a few days, you will receive following documents to your specified e-mail: account on payment and receipt to pay in the bank.
After depositing your payment on our bank account we send you file of the article by e-mail.
To order articles please copy the article doi:
10.14489/hb.2026.02.pp.012-019
and fill out the form
.
|
Разработка концепции и создание сайта - ООО «Издательский дом «СПЕКТР»