10.14489/hb.2024.07.pp.008-013

2024, 07 июль (July)

DOI: 10.14489/hb.2024.07.pp.008-013

Фомин М. В., Фомина И. М.
РАСЧЕТ ОСНОВНЫХ ХАРАКТЕРИС ТИК ГИБРИДНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА
(с. 8-13)

Аннотация. Представлены данные для расчета основных характеристик гибридного турбомолекулярного вакуумного насоса, работающего в режиме молекулярного течения газа. Насос содержит блок турбомолекулярных ступеней, промежуточную ступень и молекулярную ступень с винтовыми каналами, выполненными на цилиндрическом роторе. Для определения вероятностей перехода молекул газа через всю проточную часть насоса в прямом и обратном направлениях использован метод Монте-Карло в трехмерной постановке. Математическая модель позволяет оценить влияние динамических и геометрических параметров проточной части на основные характеристики насоса с целью их оптимизации.

Ключевые слова: турбомолекулярный гибридный вакуумный насос; максимальная быстрота действия; максимальное отношение давлений; метод Монте-Карло.

Fomin M. V., Fomina I. M.
CALCULATION OF THE MAIN CHARACTERISTICS OF A HYBRID VACUUM PUMP
(pp. 8-13)

Abstract. Data are presented for calculating the main characteristics of a hybrid turbomolecular vacuum pump operating in the molecular gas flow mode. The pump contains a block of turbomolecular stages, an intermediate stage and a molecular stage with screw channels made on a cylindrical rotor. To determine the probabilities of gas molecules passing through the entire flow part of the pump in the forward and reverse directions, the Monte Carlo method in a three-dimensional formulation was used. The program allows you to evaluate the influence of the dynamic and geometric parameters of the flow path on the main characteristics of the pump in order to optimize them.

Keywords: Hybrid turbomolecular vacuum pump; Maximum speed of action; Maximum pressure ratio; Monte Carlo method.

+ - Информация об авторах (About the Authors) Click to collapse

Рус

М. В. Фомин, И. М. Фомина (Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана, Москва, Россия) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

Eng

M. V. Fomin, I. M. Fomina (Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russia) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

+ - Библиографический список (References) Click to collapse

Рус

1. Очков А. А. Перспектива создания современных высоковакуумных механических насосов // Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2022. № 1. С. 103–137.
2. Фомин М. В., Чернышев О. Р. Модульный метод расчета проводимости сложных вакуумных систем в свободномолекулярном режиме течения газа // Вестник машиностроения. 2018. № 5. С. 28 – 30.
3. Нестеров С. Б., Бурмистров А. В., Андросов А. В. и др. Методы расчета сложных вакуумных систем. Под общей редакцией С. Б. Нестерова, А. В. Бурмистрова. М.: Техносфера. 2012. 384 с.
4. Фомин М. В., Фомина И. М. Расчет основных характеристик турбомолекулярного вакуумного насоса с лопатками переменной толщины // Справочник. Инженерный журнал с приложением. 2022. № 4. С. 24 – 30.
5. Фомин М. В. Математическая модель для определения параметров откачных характеристик молекулярного вакуумного насоса // Справочник. Инженерный журнал с приложением. 2015. № 7. С. 16 – 21.
6. Фомин М. В., Фомина И. М. Моделирование потоков газовыделения с поверхностей проточной части турбомолекулярных вакуумных насосов // Справочник. Инженерный журнал с приложением. 2020. № 10. С. 45 – 48.
7. Фомин М. В., Фомина И. М. Расчет потоков газовыделения с поверхностей проточной части молекулярной ступени вакуумного насоса // Справочник. Инженерный журнал с приложением. 2022. № 9. С. 10 – 14.

Eng

1. Ochkov A. A. (2022). The prospect of creating modern high-vacuum mechanical pumps. Vestnik Moskovskogo gosudarstvennogo tekhnicheskogo universiteta im. N.E. Baumana. Seriya: Mashinostroenie, (1), 103 – 137. [in Russian language]
2. Fomin M. V., Chernyshev O. R. (2018). A modular method for calculating the conductivity of complex vacuum systems in the free-molecular gas flow regime. Vestnik mashinostroeniya, (5), 28 – 30. [in Russian language]
3. Nesterov S. B., Burmistrov A. V. (Eds.), Androsov A. V. et al. (2012). Methods for calculating complex vacuum systems. Moscow: Tekhnosfera. [in Russian language]
4. Fomin M. V., Fomina I. M. (2022). The calculation of the main characteristics of a turbomolecular vacuum pump with blades of variable thickness. Spravochnik. Inzhenerniy zhurnal s prilozheniem, (4), 24 – 30. [in Russian language] DOI: 10.14489/hb.2022.04.pp.024-030
5. Fomin M. V. (2015). Mathematical model for determination of the pumping performance of molecular vacuum pump. Spravochnik. Inzhenerniy zhurnal s prilozheniem, (7), 16 – 21. [in Russian language] DOI: 10.14489/hb.2015.07.pp.016-021
6. Fomin M. V., Fomina I. M. (2020). Simulation of gas release flows from the flow surfaces of turbomolecular vacuum pumps. Spravochnik. Inzhenerniy zhurnal s prilozheniem, (10), 45 – 48. [in Russian language] DOI: 10.14489/hb.2020.10.pp.045-048
7. Fomin M. V., Fomina I. M. (2022). Calculation of gas emission flows from the surfaces of the flow part molecular stage of a vacuum pump. Spravochnik. Inzhenerniy zhurnal s prilozheniem, (9), 10 – 14. [in Russian language] DOI: 10.14489/hb.2022.09.pp.010-014

+ - Заказать электронную версию статьи (Purchase digital version of a single article) Click to collapse

Рус

Статью можно приобрести в электронном виде (PDF формат).

Стоимость статьи 500 руб. (в том числе НДС 20%). После оформления заказа, в течение нескольких дней, на указанный вами e-mail придут счет и квитанция для оплаты в банке.

После поступления денег на счет издательства, вам будет выслан электронный вариант статьи.

Для заказа скопируйте doi статьи:

10.14489/hb.2024.07.pp.008-013

и заполните форму

Отправляя форму вы даете согласие на обработку персональных данных.

Eng

This article is available in electronic format (PDF).

The cost of a single article is 500 rubles. (including VAT 20%). After you place an order within a few days, you will receive following documents to your specified e-mail: account on payment and receipt to pay in the bank.

After depositing your payment on our bank account we send you file of the article by e-mail.

To order articles please copy the article doi:

10.14489/hb.2024.07.pp.008-013

and fill out the form