10.14489/hb.2022.04.pp.024-030

2022, 04 апрель (April)

DOI: 10.14489/hb.2022.04.pp.024-030

Фомин М. В., Фомина И. М.
РАСЧЕТ ОСНОВНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА С ЛОПАТКАМИ ПЕРЕМЕННОЙ ТОЛЩИНЫ
(с. 24-30)

Аннотация. Представлены расчетные зависимости и результаты моделирования процесса течения разреженного газа через проточную часть турбомолекулярного вакуумного насоса с лопатками переменной толщины в трехмерной постановке решения задачи. Для моделирования использован метод Монте-Карло. При расчетах прослеживается перемещение каждой молекулы газа от входа до выхода из насоса с подсчетом вероятностей их прохождения в прямом и обратном направлениях. Режим течения газа – молекулярный.

Ключевые слова: турбомолекулярный вакуумный насос; максимальная быстрота действия; максимальное отношение давлений; метод Монте-Карло.

Fomin M. V., Fomina I. M.
THE CALCULATION OF THE MAIN CHARACTERISTICS OF A TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP WITH BLADES OF VARIABLE THICKNESS
(pp. 24-30)

Abstract. The calculated dependences and the results of modeling the process of the flow of a rarefied gas through the flow part of a turbomolecular vacuum pump with blades of variable thickness in a three-dimensional formulation of the problem solution are presented. The Monte Carlo method was used for modeling. The calculations trace the movement of each gas molecule from the inlet to the outlet of the pump with the calculation of the probabilities of their passage in the forward and reverse directions. The gas flow mode is molecular.

Keywords: Turbomolecular vacuum pump; Maximum speed of action; Maximum pressure ratio; Monte Carlo method.

+ - Информация об авторах (About the Authors) Click to collapse

Рус

М. В. Фомин («ВАКУУМАШ», Казань, Россия)
И. М. Фомина (Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана, Москва, Россия) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

Eng

M. V. Fomin (“VACUUMASH”, Kazan, Russia)
I. M. Fomina (Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russia) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

+ - Библиографический список (References) Click to collapse

Рус

1. Фомин М. В., Чернышев О. Р. Модульный метод расчета проводимости сложных вакуумных систем в свободномолекулярном режиме течения газа // Вестник машиностроения. 2018. № 5. С. 28 – 30.
2. Методы расчета сложных вакуумных систем / С. Б. Нестеров, А. В. Бурмистров, А. В. Андросов и др.; под общ. ред. С. Б. Нестерова, А. В. Бурмистрова. М.: Техносфера, 2012. 384 с.
3. Чернышев О. Р., Фомин М. В., Плишкин А. И. Статистическое моделирование течения газа через торцовый зазор вакуумного насоса // Справочник. Инженерный журнал с приложением. 2017. № 2. С. 14 – 17.
4. Биргер И. А., Шорр Б. Ф., Иосилевич Г. Б. Расчет на прочность деталей машин: справочник. 3-е изд. перераб. и доп. М.: Машиностроение, 1979. 702 с.
5. Вакуумная техника: справочник / К. Е. Демихов, Ю. В. Панфилов, Н. К. Никулин и др.; под общ. ред. К. Е. Демихова, Ю. В. Панфилова. 3-е изд., перераб. и доп. М.: Машиностроение, 2009. 590 с.
6. Фомин М. В., Фомина И. М. Моделирование потоков газовыделения с поверхностей проточной части турбомолекулярных вакуумных насосов // Справочник. Инженерный журнал с приложением. 2020. № 10. С. 45 – 48.
7. Свичкарь Е. В., Никулин Н. К., Демихов К. Е. Методика расчета откачной характеристики высоковакуумной системы с турбомолекулярным вакуумным насосом // Омский научный вестник. Сер. Авиационно-ракетное и энергетическое машиностроение. 2017. Т. 1, № 2. С. 65 – 71.

Eng

1. Fomin M. V., Chernyshev O. R. (2018). Modular Method for Calculating the Conductivity of Complex Vacuum Systems in the Free Molecular Gas Flow Regime. Vestnik mashinostroeniya, (5), pp. 28 – 30. [in Russian language]
2. Nesterov S. B., Burmistrov A. V. (Eds.), Androsov A. V. et al. (2012). Methods for calculating complex vacuum systems. Moscow: Tekhnosfera. [in Russian language]
3. Chernyshev O. R., Fomin M. V., Plishkin A. I. (2017). Gas flow statistical modeling through vacuum pump end clearance. Spravochnik. Inzhenerniy zhurnal s prilozheniem, (2), pp. 14 – 17. [in Russian language] DOI 10.14489/ hb.2017.02.pp.014-017
4. Birger I. A., Shorr B. F., Iosilevich G. B. (1979). Calculation for the strength of machine parts: a handbook. 3rd ed. Moscow: Mashinostroenie. [in Russian language]
5. Demihov K. E., Panfilov Yu. V. (Eds.), Nikulin N. K. et al. (2009). Vacuum technology: a handbook. 3rd ed. Moscow: Mashinostroenie. [in Russian language]
6. Fomin M. V., Fomina I. M. (2020). Simulation of gas release flows from the flow surfaces of turbomolecular vacuum pumps. Spravochnik. Inzhenerniy zhurnal s prilozheniem, (10), pp. 45 – 48. [in Russian language] DOI 10.14489/hb.2020.10.pp.045-048
7. Svichkar' E. V., Nikulin N. K., Demihov K. E. (2017). Method for calculating the pumping characteristics of a high-vacuum system with a turbomolecular vacuum pump. Omskiy nauchniy vestnik. Seriya: Aviatsionno-raketnoe i energeticheskoe mashinostroenie, Vol. 1, (2), pp. 65 – 71. [in Russian language]

+ - Заказать электронную версию статьи (Purchase digital version of a single article) Click to collapse

Рус

Статью можно приобрести в электронном виде (PDF формат).

DOI: 10.14489/hb.2022.04.pp.024-030

Скопируйте DOI статьи и перейдите по ссылке https://id-spektr.ru/product/pokupka-elektronnoy-stati-iz-zhurnala-spravochnik-inzhenernyy-zhurnal

В комментарии к заказу обязательно укажите DOI статьи.

Eng

This article is available in electronic format (PDF).

DOI: 10.14489/hb.2022.04.pp.024-030

Copy the article DOI and follow the link https://id-spektr.ru/product/pokupka-elektronnoy-stati-iz-zhurnala-spravochnik-inzhenernyy-zhurnal

Please specify the article DOI in the order comments.