10.14489/hb.2016.08.pp.018-021

2016, 08 август (August)

DOI: 10.14489/hb.2016.08.pp.018-021

Чернышев О. Р., Фомин М. В., Плишкин А. И.
ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ РАБОТЫ МОЛЕКУЛЯРНОЙ СТУПЕНИ МОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА
(c. 18-21)

Аннотация. Представлен алгоритм для моделирования работы молекулярной ступени вакуумного насоса в режиме течения газа при числе Кнудсена более 0,33. Насос содержит гладкий цилиндрический статор и ротор, снабженный винтовыми каналами. Показана эффективность применения ротора, состоящего из двух секций с разными углами подъема винтовых каналов. Секция ротора со стороны входа в насос имеет больший угол подъема винтовых каналов, чем секция со стороны выхода из насоса. Для моделирования использован вариант метода Монте-Карло (метод пробной частицы) в трехмерной постановке. Скорости молекул подчиняются закону Максвелла с отражением от поверхностей проточной части по закону косинуса при коэффициенте аккомодации, равном единице. Приведен пример расчета.

Ключевые слова: молекулярный вакуумный насос; винтовые каналы; метод Монте-Карло.

Chernyshov O. R., Fomin M. V., Plishkin A. I.
MOLECULAR PUMP MOLECULAR STAGE EFFICIENCY IMPROVING
(pp. 18-21)

Abstract. The vacuum pump molecular stage pumping model algorithm is presented for gas flowing mode at the Knudsen number above 0.33. Pump consists of flat cylindrical stator and screw canalled rotor. Effectiveness of the rotor, with two section of different screw canal lifting angle is showed. Modeling is performed on the 3D Monte-Carlo calculating method (Direct Simulation Monte Carlo). The molecular velocities accepted submitted the Maxwell’s law with the cosine law reflecting from the channel surface under the accommodation coefficient equal to one. The example of the computing is given.

Keywords: Molecular vacuum pump; Helical Channels; Monte Carlo method.

+ - Информация об авторах (About the Authors) Click to collapse

Рус

О. Р. Чернышев, А. И. Плишкин (ОАО «Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С. А. Векшинского», Москва, Россия)
М. В. Фомин (Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана, Москва, Россия) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

Eng

O. R. Chernyshov, A. I. Plishkin (Vekshinsky Research Institute of Vacuum Technology, Moscow, Russia)
M. V. Fomin (Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russia) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

+ - Библиографический список (References) Click to collapse

Рус

1. Демихов К. Е. Современное направление развития высоковакуумных механических насосов // Вестник Московского государственного технического университета им. Н. Э. Баумана. Серия «Машиностроение». 2014. № 5. С. 3 – 11.
2. Демихов К. Е., Никулин Н. К., Свичкарь Е. В. Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов // Инженерный журнал: наука инновации. 2013. Вып. 5. URL: http://engjournal.ru/catalog/ machin/vacuum/754.html (дата обращения: 18.03.2016).
3. Pneurop 5608 (1973) – Vacuum Pumps, Rules of Acceptance: Part III – Turbomolecular Pumps (DIN 28428). URL: http://normativ.info/din/din2.html (дата обращения: 18.03.2016).
4. Нестеров С. Б., Бурмистров А. В., Андросов А. В. и др. Методы расчета сложных вакуумных систем / под общ. ред. С. Б. Нестерова, А. В. Бурмистрова. М.: Техносфера, 2012. 384 с.
5. Фомин М. В. Определение параметров откачных характеристик молекулярного вакуумного насоса с винтовыми каналами трапецеидального профиля // Справочник. Инженерный журнал с приложением. 2013. № 7. С. 19 – 24.

Eng

1. Demikhov K. E. (2014). Modern direction of development of high vacuum mechanical pumps. Vestnik Moskovskogo gosudarstvennogo tekhnicheskogo universiteta im. N. E. Baumana. Seriia « Mashinostroenie», (5), pp. 3-11. [in Russian language]
2. Demikhov K. E., Nikulin N. K., Svichkar' E. V. (2013). Prospects for the development of combined turbomolecular vacuum pumps. Inzhenernyi zhurnal: nauka i innovatsii, (5). Available at: http://engjournal.ru/catalog/ machin/vacuum/754.html (Accessed: 18.03.2016). [in Russian language]
3. Pneurop 5608. (1973). Vacuum Pumps, Rules of Acceptance: Part III – Turbomolecular Pumps (DIN 28428). Available at: http://normativ.info/din/din2.html (Accessed: 18.03.2016).
4. Nesterov S. B., Burmistrov A. V. (Eds.), Androsov A. V. et al. (2012). Methods for calculating of the complex vacuum systems. Moscow: Tekhnosfera. [in Russian language]
5. Fomin M. V. (2013). Determining the parameters of the pumping performance of molecular pump with helical channels in trapezoidal profile. Spravochnik. Inzhenernyi zhurnal, (7), pp. 19-24. [in Russian language]

+ - Заказать электронную версию статьи (Purchase digital version of a single article) Click to collapse

Рус

Статью можно приобрести в электронном виде (PDF формат).

Стоимость статьи 350 руб. (в том числе НДС 18%). После оформления заказа, в течение нескольких дней, на указанный вами e-mail придут счет и квитанция для оплаты в банке.

После поступления денег на счет издательства, вам будет выслан электронный вариант статьи.

Для заказа статьи заполните форму:

Форма заказа статьи

Eng

This article is available in electronic format (PDF).

The cost of a single article is 350 rubles. (including VAT 18%). After you place an order within a few days, you will receive following documents to your specified e-mail: account on payment and receipt to pay in the bank.

After depositing your payment on our bank account we send you file of the article by e-mail.

To order articles please fill out the form below: