10.14489/hb.2023.02.pp.003-007

2023, 02 февраль (February)

DOI: 10.14489/hb.2023.02.pp.003-007

Фомин М. В., Фомина И. М.
ОПТИМИЗАЦИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ВИНТОВЫХ КАНАЛОВ МОЛЕКУЛЯРНОЙ СТУПЕНИ ВАКУУМНОГО НАСОСА
(с. 3-7)

Аннотация. Рассмотрена методика оптимизации геометрических параметров молекулярной ступени турбомолекулярного вакуумного насоса с винтовыми каналами, выполненными на статоре при молекулярном режиме течения газа. В осевом сечении статора каналы имеют прямоугольную форму. В результате численных экспериментов методом Монте-Карло установлено влияние каждого геометрического параметра на основные откачные характеристики молекулярной ступени.

Ключевые слова: молекулярная ступень вакуумного насоса; максимальная быстрота действия; максимальное отношение давлений; метод Монте-Карло.

Fomin M. V., Fomina I. M.
OPTIMIZATION OF GEOMETRIC PARAMETERS OF HELICAL CHANNELS IN A MOLECULAR VACUUM PUMP
(pp. 3-7)

Abstract. A method of optimization of geometrical parameters of a molecular stage of a turbomolecular vacuum pump with helical channels made on the stator under the molecular gas flow regime is considered. In axial section of stator the channels have rectangular shape. As a result of numerical experiments, the influence of each geometrical parameter on the main pumping characteristics of the molecular stage has been determined by the Monte-Carlo method.

Keywords: Molecular stage of vacuum pump; Maximum speed of action; Maximum pressure ratio; Monte-Carlo method.

+ - Информация об авторах (About the Authors) Click to collapse

Рус

М. В. Фомин, И. М. Фомина (Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, Москва, Россия) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

Eng

M. V. Fomin, I. M. Fomina (Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russia) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

+ - Библиографический список (References) Click to collapse

Рус

1. Демихов К. Е. Современное направление развития высоковакуумных механических насосов // Вестник Московского государственного технического университета им. Н. Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2014. № 5. С. 3 – 11.
2. Исследование межступенчатого канала комбинированного турбомолекулярного насоса / Ю. А. Шостак, Н. К. Никулин, П. А. Шостак и др. // Омский научный вестник. Сер. Авиационно-ракетное и энергетическое машиностроение. 2021. Т. 5, № 1. С. 9 – 17.
3. Влияние межступенчатого канала на эффективность молекулярной ступени комбинированного турбомолекулярного насоса / Ю. А. Шостак, Н. К. Никулин, Г. К. Цикадзе и др. // Омский научный вестник. Сер. Авиационно-ракетное и энергетическое машиностроение. 2021. Т. 5, № 3. С. 45 – 53.
4. Розанов Л. Н. Вакуумная техника. 2-е изд. М.: Высш. шк., 1995. 203 с.
5. Методы расчета сложных вакуумных систем / С. Б. Нестеров, А. В. Бурмистров, А. В. Андросов и др.; под общ. ред. С. Б. Нестерова, А. В. Бурмистрова. М.: Техносфера, 2012. 384 с.
6. Фомин М. В. Математическая модель для определения параметров откачных характеристик молекулярного вакуумного насоса // Справочник. Инженерный журнал с приложением. 2015. № 7. С. 16 – 21.

Eng

1. Demihov K. E. (2014). Modern direction of development of high-vacuum mechanical pumps. Vestnik Moskovskogo gosudarstvennogo tekhnicheskogo universiteta im. N. E. Baumana. Seriya: Mashinostroenie, (5), pp. 3 – 11. [in Russian language]
2. Shostak Yu. A., Nikulin N. K., Shostak P. A. et al. (2021). Study of the interstage channel of a combined turbomolecular pump. Omskiy nauchniy vestnik. Seriya: Aviatsionno-raketnoe i energeticheskoe mashinostroenie, Vol. 5, (1), pp. 9 – 17. [in Russian language]
3. Shostak Yu. A., Nikulin N. K., Tsikadze G. K. et al. (2021). Influence of an Interstage Channel on the Efficiency of a Molecular Stage of a Combined Turbomolecular Pump. Omskiy nauchniy vestnik. Seriya: Aviatsionno-raketnoe i energeticheskoe mashinostroenie, Vol. 5, (3), pp. 45 – 53. [in Russian language]
4. Rozanov L. N. (1995). Vacuum technology. 2nd ed. Moscow: Vysshaya shkola. [in Russian language]
5. Nesterov S. B., Burmistrov A. V. (Eds.), Androsov A. V. et al. (2012). Methods for calculating complex vacuum systems. Moscow: Tekhnosfera. [in Russian language]
6. Fomin M. V. (2015). Mathematical model for determination of the pumping performance of molecular vacuum pump. Spravochnik. Inzhenerniy zhurnal s prilozheniem, (7), pp. 16 – 21. [in Russian language] DOI: 10.14489/hb.2015.07.pp.016-021

+ - Заказать электронную версию статьи (Purchase digital version of a single article) Click to collapse

Рус

Статью можно приобрести в электронном виде (PDF формат).

Стоимость статьи 500 руб. (в том числе НДС 18%). После оформления заказа, в течение нескольких дней, на указанный вами e-mail придут счет и квитанция для оплаты в банке.

После поступления денег на счет издательства, вам будет выслан электронный вариант статьи.

Для заказа скопируйте doi статьи:

10.14489/hb.2023.02.pp.003-007

и заполните форму

Отправляя форму вы даете согласие на обработку персональных данных.

Eng

This article is available in electronic format (PDF).

The cost of a single article is 500 rubles. (including VAT 18%). After you place an order within a few days, you will receive following documents to your specified e-mail: account on payment and receipt to pay in the bank.

After depositing your payment on our bank account we send you file of the article by e-mail.

To order articles please copy the article doi:

10.14489/hb.2023.02.pp.003-007

and fill out the form